回顧了近50積年來中國真空計量的停滯歷史。意思囊括真空(全壓力)測量與校準、分壓力測量與校準、氣體微流量測量與校準,居中可對中國真空計量的歷史淵源和異狀有一個完全的理解。1、小引
2、真空測量與校準2.1、中國真空(全壓力)測量的起步階段
20世紀50年歲至60年歲,國內上研制出多種真空測量規(guī),況且真空測量鉆研正在于一個沉悶時代,這為中國真空測量的快捷停滯提供了可供龜鑒的成熟教訓。在1957年,中國就曾經有了徹底試制的壓縮式真空規(guī)、熱負極水解規(guī)、超高真空B-A規(guī)、皮喇尼規(guī)和冷負極水解規(guī)等多種真空測量家伙[5],鉆研者不僅從實踐上面,而且從實際上面對該署真空規(guī)繼續(xù)了深刻鉆研。
1966年,蘭州物理鉆研所還研制順利了存在中國獨特格調的熱負極中真空水解規(guī)。規(guī)管的電極采納呆滯正交軸對稱構造,電子減速極由一對平行相連的寬極板組成,離子收集極由一對平行相連的狹極板組成。2組極板在空間是相互垂直和軸對稱的,其軸線上有始終熱式敷氧化釔銥負極。該中真空水解規(guī)測量規(guī)模為10-4～50Pa,規(guī)管系數(shù)零散性小于10%。
壓縮式真空規(guī)是20世紀60年歲中國真空測量鉆研的一個熱點,許多鉆研者都做了簡報。第一套(三只)行政區(qū)劃規(guī)范的壓縮式真空規(guī)在1962年由行政區(qū)劃科委計量局、上海計量局、復旦大學、上海玻璃廠競爭制成[13],并經過行政區(qū)劃鑒定。李旺奎在1964年研制的壓縮式真空規(guī)[14],發(fā)現(xiàn)附著屏障是毛細血管中水銀不規(guī)定靜止的重要起因。因而,在毛細血管內名義涂一層3μm油層(DC2704),到底肅清了毛細血管中水銀靜止的異樣景象,并采納雙磨口閥門構造,到底肅清了水銀蒸氣旋效應,能在1～10-3Pa規(guī)模繼續(xù)相對真空測量和對其余絕對真空規(guī)繼續(xù)校準。中國國民生量院也對原始的壓縮式真空規(guī)繼續(xù)了改良,預防了水銀蒸氣旋效應。
20世紀60年歲對冷負極水解規(guī)也做了一大批鉆研,囊括潘寧規(guī)、磁控規(guī)和反磁控規(guī),還提出了一些新構造冷負極水解規(guī),如無磁場冷負極水解規(guī)[22]、正反磁控規(guī)[21],但該署冷負極水解規(guī)只能遮蓋的測量規(guī)模為102～10-6Pa。2.2、20世紀70年歲以來真空測量的停滯
20世紀70年歲,中國真空測量有了更大停滯,真空測量家伙的品種越來越多,生意化程度也越來越高。1971年,北京真空量具廠研制出一種熱負極水解規(guī)[25],該規(guī)采納敷氧化釔的銥負極擴大下限,并采納新型電極構造,經過電參數(shù)和電極轉換,兌現(xiàn)一只規(guī)管測量10～10-7Pa的壓力。爾后,在擴大熱負極水解規(guī)測量上上限上面做了一大批鉆研作業(yè),如1974年清華大學研制的測量規(guī)模為102～10-3Pa的低壓力水解規(guī)[26];1975年,北京大學研制的測量規(guī)模為102～10-4Pa的低壓力水解規(guī)[27];1975年,陳建中研制的測量規(guī)模為10～10
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